微纳加工之家吧
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    光刻胶rie之后错误的用Ar打,重新用氧气打,在用丙酮异丙醇清洗,很不干净,重复3次,最后表面依旧有
    H2O2 TMAH 6-9
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    求问各位大神,硅片减薄到80um之后,翘曲明显,想要用UV胶带固定压平就把片子弄碎,没法匀胶和光刻(都要吸真空)。请问减薄之后晶圆要怎么弄平?怎么搬运?怎么匀胶和光刻? (已经弄碎了四五块片子了,暴风哭泣!)
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    各位,本人建此吧想为各位从事微纳加工的兄弟姐妹提供一个交流的平台 。欢迎各个科研院所高校以及公司的朋友前来交流,工作、情感、学习均可以。 微纳
    ydz007007 1-26
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    为什么人这么少,作为新手要向大家多多学习呀!赶紧把队伍壮大起来,大家多多交流
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    有关所有微纳加工的问题,可以在本吧提出,本人以及各位吧友会积极回答。还有官方的论坛 www.snff.cn 提供咨询。谢谢
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    亲爱的各位吧友:欢迎来到微纳加工之家

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