二次离子质谱（Secondary Ion Mass Spectroscopy，SIMS）是一种灵敏度很高的材料表面分析方法。它除了可以分析包括氢元素在内的所有元素以外，还能够分析同位素，以及分析官能团和分子结构等信息。二次离子质谱SIMS已经广泛应用于半导体、生物医药、化工等领域的检测。