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SEM测试常见问题

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【摘要】电镜图像的标尺通常都可以设定为固定的或可变的。前者是标尺的长度不变,但代表的长度随放大倍率变化;后者是标尺长度适应不同阶段放大倍率可变,但代表的长度在一定的放大倍率范围内固定不变。
在做扫描电子显微镜(SEM)测试时,工作人员在与很多同学沟通中了解到,好多同学对SEM测试不太了解,针对此,金鉴实验室对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们。
常见问题
电镜图像的标尺与放大倍数的关系
电镜图像中标尺一般可设固定,也可改。前者为标尺长度恒定,但所代表的长度与放大倍率不同;后者指标尺长度在不同阶段对放大倍率的适应性是可变的,但是所代表的长度却在某一放大倍率下是固定的。
所以相同放大倍率下可有不同标尺,而相同输出媒介下实际大小并没有变化。改变输出方式时,放大倍率已改变(当然,所显示放大倍率并没有改变),测量的尺寸当然也就改变了。
所以标尺数值大小与放大倍数并无必然联系,具体数值大小与不同厂家的设定有一定关系。
图像差与导电性
自由电子的积累会在样品局部形成静电场,影响正常电子信息的溢出,产生荷电效应,导致图像局部异常亮,局部异常暗;表面打磨平整;图像畸形等;图像漂移现象等;而样品导电性较差则是造成这一现象的重要因素。
通常采用喷金(碳)和导电染色的方法来提高试样的导电性、减小加速电压或在荷电效应出现之前迅速观察。
电子束损伤
有的试样对电子束不耐受,拍摄时可引起拍摄部位断裂及局部漂移;为了避免这一现象发生,减小加速电压和更小电子束流,增厚喷镀金属膜,摄影中迅速选择需要摄影的区域,更短的聚焦时间进行摄影。


IP属地:广东1楼2022-10-24 10:10回复