深圳市利微成科技有限公司专注于半导体尾气处理设备研发，制造，销售。其特气吸附剂+干式吸附剂尾气处理器可满足SIC,GaAs,Si外延工艺的尾气，净化效率高，安全环保，处理后可直接排放。#MOCVD尾气处理方案##外延尾气#
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