28nm的duv光刻机,用的是深紫外线光源。
而10-14nm的euv光刻机,用的是极紫外线光源,据不靠谱的消息,这个光源清华在研究,但是功率和坚持时长抵不上美国的厂家,镜片euv用的是卡尔蔡司,而这个镜片的精度国内是可以造出来的,现在的关键是如何攻克光源和光罩,光罩日本的厂商最先进,可以定义为非美技术,暂时不用攻克没有那么急,极紫外线光源已经成为了造出euv光刻机的最大障碍。
而10-14nm的euv光刻机,用的是极紫外线光源,据不靠谱的消息,这个光源清华在研究,但是功率和坚持时长抵不上美国的厂家,镜片euv用的是卡尔蔡司,而这个镜片的精度国内是可以造出来的,现在的关键是如何攻克光源和光罩,光罩日本的厂商最先进,可以定义为非美技术,暂时不用攻克没有那么急,极紫外线光源已经成为了造出euv光刻机的最大障碍。