为了延长废气与活性物质之间的反应时间，并分解降解去除多余的活性物质(主要是臭氧)！
废气焚烧炉技术主要是破坏有机分子中的化学键，但不能将有机化合物完全矿化为CO2和H2O.以某处理项目为例，非甲烷总烃去除率仅为45%，而臭气去除率为93%。这主要是因为经过处理后，NMHC的大分子变成了小分子，仍然是色谱检测的NMHC；一些气味副产品(如臭氧等。)分解过程中产生的异味也会对异味去除率产生一定的影响。

因此，重视废气焚烧炉技术的供应商通常在等离子反应器前设置预处理系统，以有效去除废气中的灰尘和水分，而在反应器后设置后处理系统，以延长废气与活性物质之间的反应时间，并分解降解去除多余的活性物质(主要是臭氧)。
高压电源是废气焚烧炉技术的核心。电压和频率是功率输出的两个重要参数。

气体中的自由电子只有从一定的电场中获得能量，才能与气体分子碰撞，将能量传递给气体分子，使气体分子的外层电子脱离原子核的束缚，产生更多的自由电子和带正电荷的离子。

频率的增加会增加单位时间内局部放电脉冲的平均数量，增加局部放电的重复频率。结果表明，当电压一定时，随着频率的增加，污染物的去除量先增加后减少。在实际应用中，应充分考虑电源与等离子体反应器的匹配关系以及谐振的影响。