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阳极电压过低
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豪泽镀膜机到等离子清洁基板步骤,偶尔报 等离子体源,阳极电压过低,有时候可以复位直接生产,有时候一直报,复位不了,有没有大佬告知一下怎么解决
再坑一回
初级粉丝
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辅助阳极表面打干净 引弧针对好 还有就是注意辅助阳极和source 旁边的挡板
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