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涡轮分子泵是一种高效的真空泵，其工作原理是利用高速旋转的涡轮叶片将气体分子从进口处吸入，然后通过多级叶片的压缩和扩散，将气体分子排出泵体，从而实现真空抽取的目的。高速涡轮分子泵被广泛应用于半导体制造、光学薄膜制备、航空航天、医疗设备等领域。分子泵在进行高速工作的时候，转子不平衡引起的振动会直接影 响分子泵的性能和工作环境，严重的还会导致设备破坏及损失，所以必须严格对待分子泵转子动平衡。 瑞典VMI X-Balance

大阪的涡轮分子泵出现故障代码94，问了别人说是锁住了，有没有大神赐教一下如何清除故障

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在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。 随着复合分子泵的不断改进，其应用领域越来越广，在某些抽气

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为： 1.牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。 2.涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。 3.复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。 了解更多仪器信息

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分子真空泵是在 1911 年由德国人盖德(w · Gaede) 首先发明的，这种分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。牵引分子泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特

一个装有单独粗抽管路的涡轮分子泵抽气系统的操作方法与扩散泵抽气系统相似。在开始粗抽以前，高真空阀和粗抽阀是关着的，而前级管道阀是打开的。 1、首先关闭前级阀，启动粗抽泵(兼前级泵)，打开粗抽阀开始对真空室进行抽气。在真空室内的压力降到150~100Pa时关闭粗抽阀，打开前级管道阀。 2、再启动涡轮分子泵(需先接通冷却系统)。如果分子泵入口处装有液氮冷阱，则应在泵加速到额定转速后(一般需5~10min)加注液氮。粗抽系统的配置随真空

分子泵输送气体应满足二个必要条件： 1)分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有 0.06μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动 0.06μm ，就可能与第二个气体分子相碰。而在1.3Pa 时，分子间平均自由程可达 4.4mm 。在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转