超导型固态继电器内部由以下几个部分组成：
1 四个控制端接线点。两个辅助电压接线点，用于为继电器提供足以支持其正常运转的电压。
两个控制电压接线点，用于为继电器提供控制电压，控制整个继电器的开合。
2. 可控硅。在电子超导型固态继电器中，可控硅并不直接用于控制继电器的开合，而是对继电器的控制信号起到传导作用，将控制信号传导到直接控制继电器开合的小型接触器中。
3. 小型接触器。电子超导型固态继电器开合的直接控制者。当接收到通过可控硅传导过来的控制信号时，直接控制接触器末端的触点控制继电器的开合，对继电器起到直接的控制作用。