等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态，液态，气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质，等离子体状态中存在下列的物质，处于高速运动状态的电子，处于激活状态的中性原子，分子，原子团(自由基)，离子化的原子，分子，未反应的分子，原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。
　　等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，从而实现清洁，改性，光刻胶灰化等目的。
　　1、气流量的大小对清洗的影响较大，等离子清洗机在清洗中，要保持一定的真空度(0.1-0.2torr)才能产生辉光进行清洗，在0.1-0.2torr真空度下对于清洗的效果都是相同的。在真空度越低的状态下，相对的辉光较强。在清洗的过程中，需要随时将被清洗下来的污染物用真空泵抽走，同时也要随时补充干净的气体，为保持一定的真空度，进气与抽出的气体应该处于一种动态平衡的状态，如果进气量过大，对真空泵的要求就高，这样一来将浪费气体。另外，针对高要求的超清洗气源应先过滤，再输入等离子清洗器的腔体，这时的气体流量也不可过大.
　　2、等离子清洗机可以被用于化学表面改性，如果将物质的天然氧化层洗掉后，将物体拿出清洗腔它将会被再次氧化。不同的气体将会对物体表面产生不同的作用。(氧气和空气能氧化物体而氢气和惰性气体则不会)注意：如果用氧气来清洗，应使用专用的真空泵。
　　3、等离子清洗机可被用于植入物的清洗并改善其粘附性。
　　4、注意如果你将一个干净的物体和一个较脏的物体同时放入清洗腔，如果清洗时间不够或是气体流量不强，有可能较脏物体被洗下来的污染物会附着在干净物体上。
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