相位掩模板如何清洗

生产过程中光纤溅射出来的杂质污染了相位掩模板，用IBsen厂家的办法清洗后效果不佳，还有什么更好的办法可清洗相位掩模板。

硫酸，丙酮，最后酒精

激光打过了的话就没法清洗了，如果激光没打过的话，可以按照楼上的方式进行

我在想，你是不是把焦点调到了掩膜版上，这样激光打，很容易打伤的

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