化学气相沉积过程的热力学
热力学理论计算可以使我们预测特定的某个反应或过程是否可能发生，但不能保证一定能够发生，需取决与许多动力学因素：如：
预测化学反应的可能性，反应进行的条件，方向及限度
不能预测反应进行的速度
热力学分析的基础是化学平衡，而实际反应均是偏离平衡条件