晶圆抛光机采用机械臂传送硅片,减薄后自动传送抛光腔_抛光吧_百度贴吧

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晶圆抛光机采用机械臂传送硅片,减薄后自动传送抛光腔

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晶圆抛光机采用机械臂传送硅片,减薄工序完成后，硅片即会被自动传送的抛光腔，经过抛光工序，去除硅片表面损伤，提高晶圆强度，最薄可以加工50μm的晶圆。

送TA礼物

1楼2022-10-24 09:28回复

抛光机研磨机，可以最薄研磨到50μm？有没有研磨更薄的设备？

2楼2022-10-26 11:06

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