在半导体芯片制造过程中，对生产环境的洁净度要求极高，必须禁止因粉尘颗粒、工艺偏差等因素造成晶体短路或断路，控制净化环境下的作业现场中超微小颗粒物数量，以保证产品质量和提升产品良率，特别是对于0.1μm粒子的检测至关重要。https://www.yessys.com/products/show-149.html

在半导体芯片生产过程中，粒子计数器主要应用于：
1、制造工艺检测：在晶圆的光刻、涂胶显影、刻蚀等多个工艺环节中，使用粒子计数器检测环境中的尘埃粒子，确保工艺的精确性。
2、高端封装过程：在晶圆切割封装过程中，粒子计数器同样发挥着关键作用，保证封装质量。
3、半导体设备生产工艺的质量监测：通过粒子计数器对设备工艺点进行监控，确保生产过程的稳定性和产品质量。
参考法规和标准：
粒子计数器满足洁净室悬浮粒子测试方法的要求，适用于各种洁净室环境。

研成工业推出的小型尘埃粒子计数器IE160A，同时监测0.1μm和0.3μm的单位体积内的微小粒子个数，也可作为传感器嵌入生产设备实时监测作业现场的超微粒子，为净化作业环境的洁净度评定提供依据，为芯片制造保驾护航！
超小型尘埃粒子计数器，颠覆性的技术革新，不仅将经典品质传承，而且完美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中。
既往产品尺寸难以嵌入半导体制造装备中使用，本产品通过压倒性的小型化，使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。
致轻、致小，采样量2.83L/min，同时测试0.1μm、0.3μm微小粒子，彩色触摸屏显示屏。