JJF(苏)261-2023光学显微干涉式三维表面形貌测量仪校准规范
货号：AUBAT-261
一维栅格
二维栅格
栅格平均间距(5~10)um Urel≦0.5%,k=2；
栅格平均间距(5~20)um Urel≦1%,k=2;
垂直角度 MPE:±0.1°
XY 方向长度测量误差、重复性、正交误差；

超光滑样板
表面粗糙度值 (Sa)1nm，测量噪声；
相关规程同类产品应用：
JJF1916-2021扫描电子显微镜校准规范
货号：AUBAT-1916S
等间距栅格标准样板
一维栅格
测长示值误差
二维栅格
正交畸变，线性失真度