JJF(皖)146-2023白光干涉轮廓仪校准规范
货号：AUBAT-146
单晶硅超光滑样块
U≦1.5nm K=2
JJF(皖)146-2023白光干涉轮廓仪校准规范本规范适用于白光干涉轮廓仪的校准。白光干涉轮廓仪主要用于样品微纳级表面粗糙度、台阶高度等表面形貌特征的测量和分析，在纳米科学、材料科学等研究领域以及半导体、微电子等行业中广泛应用。

校准方法：
表面粗糙度（Ra）示值误差
白光干涉轮廓仪表面粗糙度示值误差选用单晶硅超光滑样块进行校准。在超光滑样块有效区域内任意选取一条中心线进行测量，按公式计算白光干涉轮廓仪表面粗糙度示值误差。按上述方法连续重复测量 10 次，按公式计算其测量数据的平均值作为白光干涉轮廓仪表面粗糙度测量结果。
垂直（Z）方向示值误差
垂直（Z）方向示值误差使用白光干涉轮廓仪对微纳米台阶高度标准样板的台阶高度直接测量后得出。选取微纳米台阶高度标准样板的中心测量线作为台阶高度的测量位置，图中 W 代表台阶可测宽度，以 A、B、C 三个区域为测量区域，选取测量台阶可测宽度的三倍进行测量，即 A、B、C 三个区域选取均为台阶可测宽度，测量时采用相对 A、B、C 测量区域中心点对称的三分之一 W 宽度作为有效计算区域。
水平（X、Y）方向示值误差
水平（X、Y）方向示值误差使用白光干涉轮廓仪对微纳米线间隔样板的线间隔直接测量后得出。在微纳米线间隔标准样板的有效测量区域内，选取多个周期的线间隔长度作为数据采集区。选取依据如下：
对于线间隔小于 1 μm 的微纳米线间隔标准样板，在微纳米线间隔标准样板的有效测量区域内选取任意 10 个线间隔的长度作为数据采集区；对于其它尺寸的微纳米线间隔标准样板，可以在微纳米线间隔标准样板的有效测量区域内选取 2~10 个线间隔长度作为数据采集区。